真空紫外·软x线领域层状衍射光栅丨衍射光栅丨光学元件丨岛津中国-乐鱼apo

topic        可满足3000~6000条/mm的刻线要求。

 

holographic laminar gratings for vacuum ultraviolet region

刻线数: 1200条/mm
刻线深度: 15nm

刻线数: 6000条/mm
刻线深度: 45nm

层状衍射光栅afm 图片 

岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示,是矩形形状,是在合成石英的基底上直接刻线加工而成,特别适合斜入射
光源的要求。

最终用途应用实例

  • 放射光光束设施

概念图

图2 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图

检测例


图3 氩吸收光谱测量示例

镀膜材质


图4 镀膜材料与反射率的关系

*理想平面镜的模拟结果(非保证值),膜厚为 30nm,入射角为 88°,表面粗糙度为 0。

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